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多晶硅铸锭炉

    JZ-460/660( G7半熔热场)多晶硅铸锭炉应用定向固化技术, 采用垂直梯度定向结晶工艺,通过加热器对温度进行精确控制, 有效地控制热量的输入和输出, 从而保证出色的产品质量。 可以在较低的温度梯度下工作, 在85个小时左右的时间生长出1200kg的硅锭。 在生长期间, 利用温度及隔热层的运动形成垂直温度梯度,实现定向晶体生长。 在装料和取硅锭的过程中, 只应用下炉室的升降方式。该炉型单位能耗小于6.5kW.h/kg。标准JZ-460/660(G5、G6)炉型只需通过热场升级便可实现G7炉型大投料量铸锭。

序号

项目与名称

参数

1

坩埚尺寸

1200*1200*520(1200kg)

2

铸锭尺寸

1156*1156*385(1200kg)

3

石墨电阻加热功率

200kw

4

最高极限温度

1575℃

5

全过程自动化控制循环时间

85

6

隔热钢笼升降行程

280mm

7

设备占地

5160*4730*4960mm


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