Material Propeties 材料特性

1

Growth Method
  生长方式

Czochralski (CZ)
  直拉法

-

2

Dopant
  掺杂剂

Boron doped
  硼掺杂

-

3

Type
  型号

P-Type
  P型

Napson EC-80TPN
  P/N型测试仪

4

Oxygen content
  间隙氧含量

≤8.0×10¹⁷ atoms/cm³

FTIR(ASTM F121-83)
  傅里叶变换红外光谱仪

5

Carbon content
  替位碳含量

≤5.0×10¹⁶ atoms/cm³

FTIR(ASTM F123-91)
  傅里叶变换红外光谱仪

6

Surface orientation
  表面晶向

﹤100﹥±3º

X-ray Diffraction Method
  X射线衍射仪

8

Dislocation Density
  位错密度

≤500 pcs/cm²

Preferential Etch Techniques(ASTM F47-88)
  择优化学腐蚀法

Electrical Propeties 电学特性

1

Resistivity
  电阻率

■ 0.5-1.5 Ω·cm

□ 1.0-3.0 Ω·cm
  □ 其它：  Ω·cm

4-probe resistivity measurement
  四探针电阻率测试仪

2

Silicon rod minority lifetime
  硅棒少子寿命

≥50us

Sinton BCT-400（SEMI PV13）