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单晶方棒为高效单晶圆棒通过切断-开方-磨面倒角加工工艺后,配合过程管控而制备得到的断面平整、侧面一定几何尺寸的单晶硅棒。主要几何尺寸如下:

序号

项目

规格

检测方法

Geometry 几何尺寸

1

Geometry
 
外形

Pseudo Square 准方


2

Side Size Square
 
边长

□166mm±0.25mm
  □158.75mm±0.25mm
  □156.75mm±0.25mm

Digital vernier caliper
 
游标卡尺

3

Diagonal
 
对角线

□223mm±0.25mm
  □212mm±0.25mm
  □210mm±0.25mm

Digital vernier caliper
 
游标卡尺

5

Bevel edge width
  range
 
弦长极差

同面≤0.3mm
  异面≤0.6mm

Digital vernier caliper
 
游标卡尺

6

Right Angle
 
直角度

90±0.2º

Protractors
 
角度尺

7

Orientation of pseudo square sides 
 
侧面晶向

﹤010﹥±3º,﹤001﹥±3º

X-ray Diffraction Method
  X
射线衍射仪


Surface Roughness

粗糙度

侧面Ra≤0.3um

倒角Ra≤1um

Mitutoyo SJ-210

粗糙度测试仪

8

端面垂直度

≤1mm

Square/Feeler gage
 
直角尺/塞尺


上一个:

下一个: