单晶方棒为高效单晶圆棒通过切断-开方-磨面倒角加工工艺后,配合过程管控而制备得到的断面平整、侧面一定几何尺寸的单晶硅棒。主要几何尺寸如下:
序号 | 项目 | 规格 | 检测方法 |
Geometry 几何尺寸 | |||
1 | Geometry | Pseudo Square 准方 | |
2 | Side Size Square | □166mm±0.25mm | Digital vernier caliper |
3 | Diagonal | □223mm±0.25mm | Digital vernier caliper |
5 | Bevel edge width | 同面≤0.3mm | Digital vernier caliper |
6 | Right Angle | 90±0.2º | Protractors |
7 | Orientation of pseudo square sides | ﹤010﹥±3º,﹤001﹥±3º | X-ray Diffraction Method |
Surface Roughness 粗糙度 | 侧面Ra≤0.3um 倒角Ra≤1um | Mitutoyo SJ-210 粗糙度测试仪 | |
8 | 端面垂直度 | ≤1mm | Square/Feeler gage |