多晶方棒为高效多晶硅锭通过截断-开方-磨面-倒角加工工艺后,配合过程管控而制备得到的断面平整、侧面一定几何尺寸的多晶硅棒。主要几何尺寸如下:
序号 | 项目 | 规格 | 检测方法 |
方棒尺寸 dimension | |||
1 | 方棒边长(单位:mm)(side length) | 156.75*156.75 | Digital vernier caliper 游标卡尺 |
158.75*158.75 | |||
客户需求定制 | |||
2 | 倒角(单位:mm)(bevel) | 0.5~2.0 | - |
3 | 端面平整度(单位:mm) | ≤1.0 | Square/Feeler gage 直角尺/塞尺 |
4 | 垂直度(verticality) | 90o±0.25° | Protractors角度尺 |
5 | 平均棒长(average length of ingot,mm) | ≥250 | 直尺 |