JD-1600 全自动软轴单晶炉,是软轴提拉型单晶炉。是在惰性气体环境中,以石墨电阻加热器,将一定纯度的硅材料熔化,用直拉法生长无位错单晶的设备,它可生产太阳能光伏电池和大规模集成电路所需要的高质量单晶。该设备可使用30- 40 英寸的热系统,最大熔料 1000kg,拉制 12 英寸或以下的单晶,适配“210硅片”生产线,产能比 JD-1400 炉型进一步提高。该设备具有原JD系列单晶炉的技术特点,属于先进的全自动炉型。具备完善的自动熔接功能,能够从加热化料到收尾完成实现全自动控制。外观设计、维护维修便利性、自动化程度和各项性能指标等方面在行业里都处于领先位置。
1 型号 JD-1600
2 名称 单晶硅炉
3 电源电压 380V
4 电源频率 50HZ
5 加热方式、加热组件 电阻加热、石墨加热器
6 主加热器最大功率 165KW
7 主加热器最高加热电压 / 电流 55V/3000A
8 辅加热器最大功率 100KW
9 辅加热器最高加热电压 / 电流 50V/2000A
10 整机功率 ≤ 290KW
11 炉内最高温度 1700℃
12 冷态炉内极限真空度 ﹤ 2Pa
13 生长晶体的直径范围 Φ8″—Φ12″
14 熔料重量 1000kg
15 原料 多晶硅原料
16 籽晶拉速范围 0.1~10mm/min
17 籽晶转速范围 0~30rpm
18 坩埚升速范围 0.05~1mm/min
19 坩埚转速范围 0~30rpm
20 籽晶有效行程 6600mm
21 主机总高 12500mm
22 主机占地面积 2800mmx1900mm
23 进水量的要求(压力) 最大 0.45MPa,压差 0.25MPa
24 冷却水用量 / 台 25 m3/h
25 冷却水进水温度 ≤ 30℃(28±2℃)